《表1 平台的实验结果、有限元仿真分析结果与理论计算结果对比Tab.1 The comparison of the experimental results, the finite element s

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《压电驱动三自由度柔顺精密定位平台研究》

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在实验过程中，每个压电陶瓷的位移由芯明天科技有限公司E01系列自带的PID控制器进行控制。压电陶瓷驱动器配有位置传感器，可以实现自身的闭环控制。对3-PRR柔顺并联平台进行点位控制实验，通过激光干涉仪对三自由度柔顺机构动平台中心点P在不同压电陶瓷输入位移下的x，y方向输出位移，然后基于x，y的值估算得到平台相应的转动角φp的值[12]。表1为实验测量结果、有限元仿真分析结果与理论计算结果的对比。