《表2 静态与动态性能：高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》

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《高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》

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静态实验与动态实验的具体参数如表2所示：X轴与Y轴的最大行程分别为12.950和13.517μm；最大耦合误差分别为0.227和0.239μm，分别占总位移比例的1.75%，1.77%；共振频率分别为12.21和13.50kHz。对比可知，平台的实验结果与理论结果有一定偏差，但在可接受的范围内；造成偏差的主要原因包括加工误差、装配时造成的预紧力过大及试验中侧向力对于压电陶瓷的损伤；动态实验的误差主要由于加工精度及预紧端刚度的影响。