《表1 微动平台的关键结构尺寸》

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《具有高位移增幅特性的柔顺并联式x-y-θ微动平台》

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通过对刚性连杆的长度、倾斜角度、直圆柔性铰链的半径、叶型柔性铰链的长度以及厚度等尺寸进行多次有限元优化，最终得到微动平台的关键结构尺寸，如表1所示．符号l1～l4、?、τ与κ表示图2中各刚性连杆的长度和倾斜角度；符号lf1～lf3与h1～h3分别表示图3中各叶型柔性铰链的长度和厚度．符号rC1、rC2、rD～rF与tC1、tC2、tD～tF分别表示直圆柔性铰链C1、C2、D～F的半径和厚度．符号b和L分别代表微动平台的厚度以及输出平台的长度．