《表1 宏微复合运动平台的结构尺寸与电机参数》
由于图5所示的宏微复合运动平台中的直梁型柔性铰链采用了大刚度设计,微运动平台的工作行程(±20μm)远远小于表1中所列的直梁型柔性铰链长度(20 mm),上述工况下所述直梁型柔性铰链均处于小变形状态,对应的柔性铰链刚度可以视为线性刚度.
图表编号 | XD0066585100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.06.20 |
作者 | 白有盾、陈新、杨志军 |
绘制单位 | 广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室广东省微纳加工技术与装备重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室广东省微纳加工技术与装备重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室广东省微纳加工技术与装备重点实验室 |
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