《表3 行程50 mm对应的点位运动规划参数a) (单位:ms)》

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《刚柔分级并联驱动宏微复合运动平台设计》

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a)（1）采用文献[36]中的对称S曲线运动规划模型，（2） 采用本文提出的时间最优非对称S曲线运动规划模型.

为了验证本文所提的运动规划优化模型在抑制柔性系统残余振动方面的有效性，本文将表3中的两组运动规划参数分别输入宏运动控制器，并测量微驱动器不工作（驱动力为零）条件下的微运动平台的速度响应所得的速度响应对比曲线绘制在图10中.