《表2 20 mm定位目标的宏微复合定位性能》

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《高速宏微运动平台及精密定位方法》

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在宏微复合运动方面，以20 mm为定位目标，共同启动宏运动和微运动，利用所编写的控制系统集成化软件进行宏微复合的自动切换与高精度补偿，同时检测定位平台的位移。其实验结果如图8所示，具体数据列于表2。