《表1 微位移定位平台的尺寸参数》

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《六自由度微位移定位平台的设计与试验》

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经过理论计算，以压电叠堆预紧力为目标对微位移定位平台进行了优化设计，原理样机如图8所示。其中：位置1～4分别位于中央平板对应边的1/3处；位置5～7分别位于3组楔形机构垂直运动端处。原理样机主要机构的尺寸参数如图9、图10以及表1所示。平台基体采用65号锰钢材料，压电叠堆驱动器为PI公司生产，型号均为P-885.10，其各项技术参数如表2所示。