《表1 微操作平台的结构参数》

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《一种新型2自由度微操作平台设计与试验》

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为了提高微操作平台的运动精度，减小x和y方向的运动耦合，采用双复合平行四杆柔性机构作为平台的导向机构。双复合平行四杆柔性机构和运动如图2所示，平行四杆柔性机构由2个梁和杆组成，会产生沿y方向的偏差位移e，双复合平行四杆柔性机构是由对称布置的两个平行四杆柔性机构并联组成，由梁1～4组成第1个平行四杆柔性机构，梁5～8组成第2个平行四杆柔性机构，可减小沿y方向的偏差位移。图1所示的梁D，F，H，L相当于图2所示的梁1～4，梁E，G，K，M相当于梁5～8。如图1所示，r和t4分别表示直圆形柔性铰链的半径和厚度，l3和t3分别表示梁的长度和厚度，l1和l2分别表示杆Ⅰ和杆Ⅱ的长度，t1和t2分别表示杆Ⅰ和杆Ⅱ的厚度，平台结构参数如表1所示。平台材料选用铝合金，其弹性模量为71 GPa，密度为2 770 kg/m3。