《表4 优化后微振动平台的参数》
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优化后的基频为466Hz，在考虑加强板的情况下，基频能达到500 Hz，满足设计要求。优化后的参数如表4所示，优化结果如图8所示。
| 图表编号 | XD00117511800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.12.01 |
| 作者 | 徐振邦、朱德勇、贺帅、申军立、赵亮、夏明一 |
| 绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学材料与光电研究中心、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
