《表1 微平台初始结构参数及取值范围/mm》
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微动平台结构如图1所示.为方便设计与计算，微动平台中所有铰链均采用几何参数相同的直圆型柔性铰链，表1是微进给平台的初始结构参数及取值范围.
| 图表编号 | XD0071295300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.06.01 |
| 作者 | 黄声德、刘静、代武川 |
| 绘制单位 | 江西理工大学机电工程学院、江西理工大学机电工程学院、江西理工大学建筑与测绘工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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