《表3 二自由度微定位平台y方向输出位移仿真结果》

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《基于二级杠杆机构的二自由度微定位平台设计与分析》

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为验证二自由度微定位平台的稳定性，对其y方向的输入位移和输出位移进行分析，结果如表3所示。由表3可知，该二自由度微定位平台在y方向上输出位移时，会在x方向上产生一定的耦合位移xc，但相比于实际需要的输出位移yout，xc非常微小，可以忽略不计，这表明该微定位平台具有较高的稳定性。