《表3 因子回归:1/BDV与芯片直径、芯片厚度和留边量方差分析结果》
注:以未编码单位表示的回归方程1/BDV=0.077 9+0.019 08芯片直径-0.043 05芯片厚度+0.231 0留边量-0.030 69芯片直径*留边量
对上述结果,根据模型分析步骤“拟合选定模型—>进行残差诊断—>模型优化改进(含宏指令)”等作业,发现对输出特性BDV进行相应的变换(变换为原来BDV的倒数)后,所建模型各个方面拟合得会更好;最后,我们看到改进后的模型分析结果如表3所示。从表3中可以看出,弯曲、失拟和残差分析都比先前模型要好,模型汇总相关参数S在变小,R-sq(调整)、R-sq(预测)在提高。
图表编号 | XD00220281200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.10.20 |
作者 | 冯诗银、王志强、吴金珠、王学宇、王晓露 |
绘制单位 | 广东南方宏明电子科技股份有限公司、广州市昱桥电子科技有限公司、广东南方宏明电子科技股份有限公司、兖矿新疆煤化工有限公司、兖矿新疆煤化工有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |