《表4 公开报道的触觉传感器与本文触觉传感器性能对比》

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《三轴力解耦测量的高灵敏触觉传感器》

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最后，将本传感器与公开报道的多维触觉传感器进行对比，如表4所示。通过对比分析表明在切向和法向相同量级的测量范围情况下，本文设计的触觉传感器具备三轴相同量级且高灵敏的测量特性，测量灵敏度均高于0.1pF/N，无突起结构。此外本传感器还表现出了优良的解耦效果，三轴耦合比最大不超过8%。