《表2 触觉传感器静态性能指标》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《三轴力解耦测量的高灵敏触觉传感器》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

计算出的触觉传感器各项静态特性指标如表2所示，切向X最小二乘拟合公式：Cx=0.206Fx+0.028，测量灵敏度为0.206pF/N；切向Y最小二乘拟合公式：Cy=0.251 Fy+0.014，测量灵敏度为0.251pF/N。法向最小二乘拟合公式：Cz=0.148Fn+0.038，测量灵敏度为0.148pF/N。从测试结果可以看出，实际输出与理论结算结果较为接近，证明了参数化设计的正确性，同时法向和切向灵敏度量级相当，且均具有较高的灵敏度。关于灵敏度的实际值与理论值之间存在的偏差来源，主要是PCB板和介质之间粘合过程中夹杂的气泡及网格被一定粘结剂填充引起的。