《表2 压力传感器静态性能》
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《基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造》
压力传感器需测试的静态性能指标主要包括零点输出、满量程输出、灵敏度、非线性误差、综合精度及传感器重量，测试结果如表2所示。
| 图表编号 | XD00129819100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.04.20 |
| 作者 | 李闯、赵立波、张磊、涂孝军、章建文 |
| 绘制单位 | 苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
