《表1 柔性触觉传感器切向力测试结果》

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《柔性触觉传感器的研制》

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由图6（d）至图6（f）分析可知，Fz、Fx和Fy三个轴向力的测量灵敏度分别为0.243pf/N、2.356pf/N和2.122pf/N，其中Fz的测量灵敏度比其他两个力小一个量级。因此，本文所设计的传感器在测量切向力时，能够有效降低法向力对其产生的干扰。为了检验柔性传感器的测量精度，分别对法向力和切向力进行检测，结果如表1和表2所示，从表中可以看出，法向力与切向力的测试结果均存在误差，误差的主要来源为外界环境的干扰（外界静电场和寄存电容）以及线性拟合产生的误差。