《表3 触觉传感静态耦合比》

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《三轴力解耦测量的高灵敏触觉传感器》

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其耦合结果如表3，从表中可以看出法向-切向之间通过传感器结构的参数化设计取得了较好的解耦效果，静态耦合比最大为1.051%；另外，通过进一步分析发现切向X-Y的最大静态耦合比为7.636%，相较于切向-法向解耦结果稍微偏大，这是由于切向X，Y共用切向介质层的原因，当介质层产生横向位移变化时，其纵向也会发生微小的形变，因此切向X，Y输出之间会存在微弱的耦合。