《表6 溅射偏压与氮气流量对薄膜疏油性的影响》

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《SrTiO_3衬底表面外延生长TiCN薄膜工艺参数优化及疏水疏油性能》

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由于溅射偏压150、200、250 V，氮气流量10、15、20 sccm时，薄膜的疏水角差别不大。在薄膜疏水角最大的工艺条件下，改变溅射偏压与氮气流量，分别进行单因素试验测定薄膜的油接触角。固定氮气流量10 sccm，改变溅射偏压150、200、250 V与固定溅射偏压150 V，改变氮气流量10、15、20 sccm时薄膜与油的接触角见表6。