《表4 氩气流量对ITO薄膜光电性能的影响》

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《磁控溅射法制备柔性大尺寸ITO薄膜的研究》

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设定实验过程中氧气流量10.35 sccm，溅射功率3.6 kW，沉积温度为室温，PET走速1.2 m/min，氩气流量从125 sccm变化到325 sccm，所得结果见表4和图5，氩气流量的改变对薄膜的透过率影响不大，随着氩气流量的增加，薄膜方阻呈先增大后降低的趋势，薄膜偏黄值b*是逐渐降低。当氩气流量为125 sccm时，制备的ITO薄膜方阻接近180Ω/□，平均透过率最高（85.17%），因此确定最佳氩气流量是125 sccm。