《表2 不同结晶度ITO对电池性能的影响》

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《高效硅基异质结太阳电池的ITO薄膜研究》

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在SHJ太阳电池上分别沉积非晶ITO薄膜（amorphous ITO film）与微晶ITO薄膜（micro-crystal ITO film）作为电池的透明导电膜，并在190℃条件下退火30 min后，测试电池的I-V参数并进行对比。表2中给出非晶ITO薄膜与微晶ITO薄膜的电池I-V数据。可得出由于非晶ITO薄膜存在的长波段光学透过优势，有效降低了寄生吸收，在保证电池FF和Voc未受影响的同时，使硅基异质结太阳电池短路电流提高0.13 A。相比较，得到SHJ电池的光电转换效率提升了0.41%，所以非晶ITO薄膜能有效提升电池的性能。