《表8 不同N2流量对电池电学性能的影响》

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《扩散方阻对单晶PERC电池电学性能的影响》

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对照表7及表8，扩散方阻的均值随着小N2流量的增加而降低，均匀性则有所提升。主要原因是POCl3通过小N2带入，小N2流量的增加意味着POCl3流量的上升，POCl3浓度增加使得扩散过程中P原子扩散比例上升，导致方阻下降，同时，由于扩散反应更加充分进而方阻值趋于相近[5]。之于电学性能变化，小N2流量的增加，Voc、Isc和Rs均呈下降趋势，而FF呈上升趋势，当小N2流量为1 050mL/min，转换效率最佳达到22.21%。