《表1 沉积Ti N, DLC层时的参数》

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《镍磷化学镀温度对活塞杆用45钢表面Ni-P/TiN/DLC三层膜结合及划痕性能的影响》

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基材为45钢，对各个试样的上端面实施了抛光处理，抛光后尺寸16.0 mm×13.9 mm。之后使用化学镀镍磷方法为各试样表面镀上一层厚度为260μm的Ni-P合金层，选取20，100，300，500℃不同的镀液温度进行研究，要求将镀液升温速率控制在1.5℃/min，并在到达设定温度后保温1 h，之后通过炉冷方式将试样温度降至室温。该镀层中的P含量为11%。再利用单点金刚石将该膜厚度车削至200μm，得到Ra<10 nm的光学镜面。在单腔体镀膜系统（BFSI0805）中利用过滤阴极真空电弧（FCVA）技术沉积得到厚度分别等于0.35μm的Ti N过渡层以及厚度等于1.2μm的类金刚石（DLC）保护层。选择99.99%纯度的Ti靶作为Ti N过渡层的靶材，通入的工作气体包括N2与CH4共2种，其中，CH4是DLC膜的碳源。表1为沉积Ti N，DLC层时的各项参数，图1显示了试样的具体结构。