《表3 PSD参数和系统安装偏差的标定结果Tab.3 Calibration results of PSD parameters and system installation bias》

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《基于位置敏感探测器的六自由度精密位姿测量系统》

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首先根据测量值对PSD及发光管进行标定，根据30个极限值，采用最小二乘法进行标定。基准点分别取x轴、y轴的0、±8，z轴的0、±6.5等位置进行测试，z平面中心点再补测3个点，测试点共3×3×3+3=30个。由于质心无法确定，所以浮子转动时不能确定质心的位移，旋转时质心位移只作为测试值，不作为标定值。标定结果如表3所示。