《表3 不同渐晕区域的密度标定结果Tab.3 Density calibration results of different vignetting regions》

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《基于机器视觉系统的半透明薄膜缺陷检测及厚度测量研究》

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标定光密度测量系统的目的是减小测量中的误差，这是目前许多类似的光密度-厚度测量方法都没有进行的步骤。进行标定首先要研究照明背光光源是否影响光密度测量。为了保证光密度计量在视场所有位置的准确度，采用图2所示的X-Rite标准光密度标定板进行标定。该标定板遵循ANSI PH2.19-1986和ISO 5/2-1985标准，包含0.08，0.25，1.5，2.96和3.76±0.02D的参考密度值。由于光密度值2.96和3.76接近暗电流噪声层，会带来较大的厚度测量误差，因此不作为标定辅助，而只使用光密度值较小的标定值0.08，0.25和1.5；然后选定CCD获取的12-bit图像中的四个渐晕程度不同的图像区域A1~A4，分别采集各密度值对应的输出灰度值，如图3。图3是连续采集的15幅未放置待测样品的背光图像均值化结果，不存在饱和像素，因此将其作为各像素的输入灰度值。为减少测量中的时间噪声，对图3求取每10×10像素范围的灰度平均值z，并将其代入式（4）计算实测的光密度值，计算结果见表3。