《表1 离子刻蚀清洗工艺参数》
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《磁控溅射Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层的抗高温氧化性能》
表面预处理首先采用400号至1800号共7级水砂纸打磨TC4基体并抛光，然后在丙酮溶液中进行15min超声波清洗。涂层制备过程中的离子刻蚀清洗工艺参数见表1。
| 图表编号 | XD00219212800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.02.23 |
| 作者 | 宋肖肖、李柯、赵婕宇、董艇舰、胡登科、陈亚军 |
| 绘制单位 | 国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、航天精工股份有限公司、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心、国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心 |
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