《表1 器件表面元素含量：无氧铜电真空器件表面洁净工艺研究》
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在对表面清洗状态初步确认后，未避免清洗工艺人为带入的误差，选取表面合格的清洗器件进行表面能谱检测，结果如表1所示。
| 图表编号 | XD00183980800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.10.20 |
| 作者 | 王殿、魏宇祥 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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