《表1 各元素含量：表面处理降低GaAs界面态密度的研究》

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《表面处理降低GaAs界面态密度的研究》

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从全谱中得出各元素在不同轨道的分布，可分为3d低能轨道与2p高能轨道，其中3d低能轨道主要分析元素价态组分，2p高能轨道分析结合能位置偏移，各元素在不同处理条件下原子百分比如表1所示。