《表1 氧化膜表面各元素含量的分布》

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《TC11管内膛微弧氧化膜制备及耐烧蚀性能研究》

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通过对氧化膜的EDS分析（表1）可知，膜层主要由Ti和O元素组成，这是由于微弧氧化是原位生长主要以含基体本身氧化物为主的陶瓷涂层。膜层中含Al元素较高，膜层中含有的少量F元素是通过放电通道进入膜层。Fe为杂质元素。结合XRD谱图（图8）可知，膜层主要物相为TiO2、γ-Al2O3、Al2TiO5。根据元素含量分布可知，膜层中还含有少量的Si、P以及少量Ca等元素由于在XRD中尚未发现衍射峰，所以膜层中存在一定量的无定形SiO2、Ca3[Si3O9]。