《表1 电子束退火参数Tab.1 Electron beam annealing parameters》

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《电子束退火法制备Li-N共掺杂多晶ZnO薄膜》

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将前驱膜放入EBW-3H型电子束焊接机中，设定电子束加速电压10 k V，聚焦束流123 m A（束斑直径约15 mm），退火时间5 min。通过调节电子束束流，实现样品在500~800℃范围内退火，退火过程中用红外测温仪实时测量样品表面中心温度。样品A、B、C、D的电子束退火参数如表1所示。