《表1 退火实验工艺参数Tab.1 Process parameters of annealing experiment》

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《退火处理对高阻AZO纳米叠层薄膜电学性能的影响》

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最后将制备好的AZO纳米叠层薄膜放入管式炉中进行不同温度及时间的退火处理。将实验样品分为6组进行不同工艺的退火处理，退火工艺参数如表1所示。最后通过AFM和XRD研究薄膜的表面形貌及晶体结构，通过高阻测量仪分析其电学性能，表中:t为退火时间；θ为退火温度。