《表1 不同温度退火情况对比Tab.1 Comparison of annealing conditions at different tem-peratures》

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《退火条件对SiC欧姆接触的影响》

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通过控制退火条件，会对Ni/SiC接触的性能优劣产生巨大影响。首先，从退火温度入手考虑，参考国内外研究成果及文献报告，选取800℃，每50℃递增至1 000℃不同温度点进行参数测试。除了退火温度以外，其他实验条件如淀积金属厚度、退火时间、保护气体等均保持一致。通过调节温度变化研究不同温度下退火，会对n型欧姆接触的实验产生何种结果，实验数据如表1所示。