《表2 器件TTF推算:部分耗尽SOI MOSFET NBTI效应研究》

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《部分耗尽SOI MOSFET NBTI效应研究》


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图6中,横坐标为对数等间隔的时间坐标,纵坐标为阈值电压漂移量对数,可以非常明显地看出,随着试验时间的推移,阈值电压的漂移量逐渐增大。得到的关系表达式见表2,并由表达式计算当ΔVth=0.1V时的器件寿命TTF。