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目录1

第一章 绪论1

§1.1 “真空”的概念及真空技术的基本内容1

§1.2 真空度量的单位和真空区域的划分2

§1.3 真空技术在国民经济中的作用5

第二章 真空的基础理论知识8

§2.1 理想气体定律8

§2.2 气体分子运动的简述13

§2.3 空气的成分和分压强定律18

§2.4 气体放电与电离现象23

§2.5 气体的吸附与脱附27

§2.6 分子流状态下的流导30

第三章 真空获得37

§3.1 油封旋转真空泵37

§3.2 油扩散泵50

§3.3 真空泵工作液64

§3.4 无油真空泵66

第四章 真空测量85

§4.1 放电真空计85

§4.2 U型压力计和压缩真空计89

§4.3 热传导真空计91

§4.4 电离真空计98

§4.5 真空计的校准与选用108

§4.6 真空电子器件内真空度的测量方法113

第五章 真空检漏117

§5.1 漏孔的形成和特性117

§5.2 常用的检漏方法123

§5.3 氦质谱检漏仪136

§5.4 氦质谱检漏技术146

§6.1 真空系统的基本结构151

第六章 真空系统151

§6.2 真空系统的材料159

§6.3 真空阀门168

§6.4 真空阱174

§6.5 常用的真空系统179

§6.6 无油真空系统187

§6.7 真空系统的安装和调整192

附录一202

附录二204

附录三206

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