《超高真空技术》求取 ⇩

第1章真空科学技术基础1

1.1 真空性质1

1.2 真空的气体动力学模型2

1.3 气体经真空系统流动5

1.4 真空系统抽气9

1.5 真空系统内的气体源12

1.6 文献26

第2章超高真空材料28

2.1 超高真空材料选择准则28

2.2 玻璃29

2.3 金属47

2.4 陶瓷59

2.5 其它材料64

2.6 封接技术69

2.7 文献80

第3章抽气泵81

3.1 背景81

3.2 扩散泵82

3.3 涡轮分子泵87

3.4 吸附泵93

3.5 低温冷凝泵100

3.6 升华泵和吸气剂泵104

3.7 离子泵109

3.8 选择抽气泵110

3.9 文献121

第4章总压强测量122

4.1 引言122

4.2 电离规123

4.3 动量传递规137

4.4 校规137

4.5 电离真空计146

4.6 文献147

第5章分压强测量148

5.1 分压强测量的意义148

5.2 规参量150

5.3 离子源152

5.4 静态质谱计154

5.5 动态质谱计162

5.6 离子探测174

5.7 校准和性能178

5.8 文献184

第6章超高真空管路元件185

6.1 范围185

6.2 可拆密封185

6.3 机械运动传递和动密封189

6.4 阀192

6.5 其它管路元件196

6.6 液氮补液器198

6.7 文献200

第7章系统与应用201

7.1 引言201

7.2 系统的要求201

7.3 抽气要考虑的基本因素202

7.4 系统设计207

7.5 应用216

7.6 文献226

第8章检漏227

8.1 基本技术227

8.2 性能要求228

8.3 电离规检漏231

8.4 离子泵检漏234

8.5 卤素检漏235

8.6 质谱检漏236

8.7 文献239

附录1真空计量单位换算表240

附录2标准大气的成分241