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目次1

前言1

第一章 真空的一般概念1

大气压力1

真空3

真空在技术应用上的优点5

高真空情况下气体分子的动力9

学性质9

第二章 高真空的获得12

抽气的一些定义12

粗泵12

机械真空泵13

气镇式真空泵17

分子泵22

扩散真空泵23

电子泵33

离子泵35

收气和化学清除38

活性炭39

第三章 高真空的测量41

真空规的选择41

低真空量具42

麦克劳真空规46

热导真空规——皮喇尼式和热49

偶式49

阻尼真空规52

热阴极电离真空规53

冷阴极电离真空规64

克努曾真空规69

利用超显微镜测定超高真空76

高真空量具的展望77

第四章 电真空工艺82

电真空工艺的特殊要求82

金属84

石墨89

半导体89

收气剂91

绝缘材料93

玻璃94

焊接98

清洁处理101

第五章 真空系统的设计和使用103

引言103

管道设计104

抽气速率的测量108

真空泵和真空规的选择112

真空考克114

真空油脂117

检漏118

除气121

冷凝阱和干燥剂125

真空系统的操作手续举例126

参考书目129

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