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第一章真空技术的基本理论与简单计算1

第一节 真空与真空的量度1

第二节 分压强定律12

第三节 理想气体定律及应用举例16

第四节 真空技术常用的物理概念及简单计算28

第五节 气体流动状态及流导34

第六节 真空技术的基本方程64

第七节 真空系统简单计算78

第八节 真空技术理论研究范畴与在实践中的应用87

第二章机械真空泵(低真空泵)105

第一节 油封机械真空泵106

第二节 定片式机械真空泵(定片泵)110

第三节 滑阀式机械真空泵(滑阀泵)111

第四节 往复式机械真空泵117

第五节 水蒸气喷射泵120

第六节 机械增压泵(罗茨泵)125

第三章旋片式油封机械真空泵(旋片泵)130

第一节 旋片泵的结构与工作原理130

第二节 旋片式真空泵的结构特征分析140

第三节 旋片泵的参量178

第四节 旋片泵的改进187

第五节 旋片泵的技术条件和试验方法195

第四章机械真空泵的维修208

第一节 机械真空泵的安装、使用、维护和保养208

第二节 油封机械真空泵常见故障211

第三节 油封机械泵修理工艺概述214

第四节 油封机械泵的总装配232

第五节 油封机械泵常见故障分析和维修实例241

第六节 多室泵和往复泵的维修257

第七节 某些零部件的加工工艺简介263

第八节 修泵常用工具、材料和设备281

第五章高真空泵284

第一节 油扩散泵284

第二节 油扩散泵使用、操作、维护、修理和性能试验338

第三节 无油类型的真空泵359

第六章真空系统和材料401

第一节 决定真空系统性能的因素401

第二节 真空系统的典型结构403

第三节 真空系统用泵的选择409

第四节 真空材料415

第五节 辅助密封材料424

第六节 真空系统的连接428

第七节 阱445

第八节 阀455

第九节 真空系统的鉴定和清洗469

第十节 真空系统的安装与调试471

第十一节 真空系统排气475

第十二节 真空获得技术的应用实例479

第十三节 真空系统的污染及消除510

第七章实用真空测量和检漏技术545

第一节 真空测量技术545

第二节 真空检漏技术603

第三节 氦质谱检漏仪629

附录(二十六项)670

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