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目录1

译序1

常用符号1

第一章 绪论1

1.1 真空1

1.1.1　人工真空1

1.1.2 自然真空4

1.2　应用范围及重要性6

1.2.1　真空技术的应用6

1.2.2　真空技术的重要性9

1.3　真空技术发展史的主要阶段10

1.4　文献来源12

1.4.1　书籍12

1.4.2　刊物14

1.4.3　会议汇刊15

第二章 真空技术的稀薄气体理论17

2.1　物质的物理态17

2.2　理想气体定律和真实气体定律22

2.2.1　玻义耳定律22

2.2.2　查理定律24

2.2.3　一般气体定律24

2.2.4　分子密度27

2.2.5　真实气体的物态方程28

2.3　稀薄气体中的分子运动30

2.3.1　分子的动能30

2.3.2　分子的速度31

2.3.3　分子入射率33

2.4.1　平均自由程34

2.4　压强和平均自由程34

2.4.2　压强单位37

2.5　粘滞态中的迁移现象40

2.5.1　气体的粘滞性40

2.5.2　气体的扩散42

2.6　分子态中的迁移现象45

2.6.1　粘滞态和分子态45

2.6.2　分子曳力46

2.7　热扩散和能量迁移48

2.7.1　热流逸48

2.7.2　热扩散49

2.7.3　稀薄气体的热导率50

3.1.1　流动方式56

3.1 流动方式、流导和流量56

第三章　低压下的气流56

3.1.2　流导58

3.1.3　流量和抽速60

3.2　粘滞流和湍流63

3.2.1　粘滞流—孔的流导63

3.2.2　粘滞流—圆柱管的流导66

3.2.3　粘滞流—表面滑移69

3.2.4　粘滞流—矩形截面69

3.2.5　粘滞流—环形截面71

3.2.6　湍流71

3.3　分子流72

3.3.1　分子流—孔的流导72

3.3.2　分子流—隔板的流导73

3.3.3　分子流—恒定截面的长管74

3.3.4　分子流—恒定截面的短管77

3.4　组合型容器的流导80

3.4.1　分子流—锥形管80

3.4.2　分子流—弯管82

3.4.3　分子流—阱83

3.4.4　分子流—闭光障板87

3.4.5　分子流—密封界面90

3.5　流导的解析——统计计算93

3.6　过渡流100

3.6.1　克努曾方程100

3.6.2　最小流导101

3.6.3　过渡压强102

3.6.4　过渡区的界限103

3.6.5　一般气流方程104

3.6.6　分子流—粘滞流交点105

3.6.7　气流的积分方程107

3.7　真空系统计算111

3.7.1　真空系统中的气体源111

3.7.2　粘滞流范围内的抽气112

3.7.3　分子流范围内的抽气115

3.7.4　具有分布气体负载的稳定态118

3.7.5　流导和抽气时间的列线图解计算120

3.7.6　气体负载的计算和抽气要求125

第四章 真空技术中的物理化学现象135

4.1　蒸发——凝结135

4.1.1　真空系统中的蒸汽135

4.1.2　蒸汽压和蒸发率136

4.1.3　蒸汽压数据142

4.1.4　低温抽气和真空镀膜146

4.2　溶解和渗透149

4.2.1　渗透过程149

4.2.2　气体对真空外壳的渗透153

4.2.3　渗透的结果154

4.3　吸着157

4.3.1　吸着现象157

4.3.2　吸附能158

4.3.3　单分子层和粘附系数159

4.3.4　吸附等温线163

4.3.5　真表面163

4.3.6　用吸收剂的气体吸着164

4.4.2　出气169

4.4.1　解吸现象169

4.4 解吸——出气169

4.4.3　出气率172

4.5 电子和离子与表面的相互作用174

4.5.1　电子散射174

4.5.2　离子散射176

4.5.3　低能电子衍射（LEED）177

4.5.4　俄歇电子能谱学（AES）179

第五章 低压强的产生182

5.1　真空泵182

5.1.1　抽气原理182

5.1.2　参数和分类182

5.2　机械泵185

5.2.1　液体泵185

5.2.2　活塞泵186

5.2.3　水环泵187

5.2.4　旋片泵187

5.2.5　滑片泵192

5.2.6　旋转柱塞泵194

5.2.7　罗茨泵195

5.2.8　分子泵196

5.3　蒸汽泵198

5.3.1　分类198

5.3.2　蒸汽喷射泵199

5.3.3　扩散泵200

5.4　离子泵205

5.4.1　分类205

5.4.2　离子抽气206

5.4.3　蒸发离子泵209

5.4.4　溅散离子泵215

5.5　吸附泵219

5.5.1　吸附抽气的特性219

5.5.2　吸附泵221

5.5.3　多级吸附抽气222

5.6　低温抽气224

5.6.1　低温抽气的机理224

5.6.2　低温抽气阵列230

5.6.3　低温捕集232

5.6.4　低温泵234

5.6.5　液氮阱234

5.7　吸气237

5.7.1　吸气原理237

5.7.2　闪时吸气剂238

5.7.3　容积吸气剂和敷层吸气剂242

5.7.4　吸气能力243

5.7.5　升华泵244

5.8　稀释抽气245

5.9　抽速的测量246

5.9.1　测量方法246

5.9.2　定压法246

5.9.3　定容法250

5.9.4　机械泵和扩散泵抽速的测量250

5.9.5　溅射离子泵抽速的测量251

第六章　低压强的测量253

6.1 真空计的分类和选择253

6.2.1　波登真空计255

6.2　机械真空计255

6.2.2　膜盒式真空计256

6.3　使用液体的真空计258

6.3.1　U形管流体压力计258

6.3.2　斜管流体压力计259

6.3.3　差动流体压力计260

6.3.4　杜布罗温真空计260

6.3.5　麦氏真空计262

6.4　粘滞（分子）真空计269

6.4.1　原理269

6.4.2　衰减真空计270

6.4.3　旋转分子真空计270

6.4.4　谐振式粘滞真空计271

6.5　辐射计（克努曾真空计）272

6.6.1　热导率和热损耗275

6.6　热导真空计275

6.6.2　皮氏计276

6.6.3　热偶真空计278

6.6.4　热敏电阻真空计280

6.6.5　麦氏-皮氏组合真空计280

6.7　电离真空计281

6.7.1　放电管281

6.7.2　热阴极电离真空计282

6.7.3　冷阴极电离真空计292

6.7.4　装有放射源的真空计294

6.8　真空计的校准295

6.8.1　概述295

6.8.2　麦氏计法296

6.8.3　膨胀法296

6.8.4　流量法297

6.8.5　排气法298

6.9　分压强测量298

6.9.1　概述298

6.9.2　磁偏转质谱仪299

6.9.3　余摆线型（摆线型）质谱议301

6.9.4　回旋质谱仪302

6.9.5　线振质谱仪304

6.9.6　四极质谱仪和单极质谱仪305

6.9.7　飞时质谱仪305

第七章 高真空技术307

7.1　选择材料的准则307

7.1.1　概述307

7.1.2　机械强度307

7.1.6　金属容器和管道308

7.1.5　工作条件308

7.1.3　透气性308

7.1.4　蒸汽压和气体释放308

7.1.7　玻璃容器和管道310

7.1.8　弹性材料和塑料管道311

7.2　清洗技术313

7.2.1　金属清洗313

7.2.2　玻璃清洗318

7.2.3　陶瓷清洗320

7.2.4　橡胶的清洗320

7.2.5　烘烤320

7.3　密封技术320

7.3.1　概述、分类320

7.3.2　永久密封321

7.3.3　半永久可拆密封347

7.3.4　垫圈密封365

7.3.5　电引入线388

7.3.6　运动传送392

7.3.7　真空系统中的物质传递397

7.4　检漏406

7.4.1　漏率和检测406

7.4.2　泄漏测量412

7.4.3　漏孔检测416

7.4.4　密封部件测试417

7.4.5　灵敏检漏法418

7.5　真空系统操作规则425

参考文献427