《真空技术及设备》

绪论1

第一章真空技术的物理基础3

第一节 气体分子运动论的基本概念3

第二节 气体分子速度的分布4

第三节 气体分子之间的碰撞9

第四节 气体分子与器壁之间的碰撞——余弦定理13

第五节 气体沿导管的流动16

第六节 真空系统抽气过程的理论基础25

第二章真空获得设备29

第一节 概述29

第二节 油封机械真空泵31

第三节 分子泵43

第四书扩散泵49

第五节 吸附泵60

第六节 热钛泵67

第七节 溅射离子泵78

第八节 冷凝泵89

第九节 真空泵的性能测试93

第三章真空测量98

第一节 概述98

第二节 利用气体放电粗略估计真空度98

第三节 压缩式真空计101

第四节 热偶真空计103

第五节 普通热阴极电离真空计106

第六节 热阴极超高真空电离计109

第七节 冷阴极磁控电离计（冷规）111

第八节 真空计的校准112

第四章真空元件116

第一节 真空阀门116

第二节 捕集器（阱）129

第三节 干燥器（干燥罐）139

第五章真空密封与连接141

第一节 概述141

第二节 可拆连接141

第三节 可动连接153

第四节 不可拆连接161

第六章真空中常用的材料163

第一节 概述163

第二节 金属材料163

第三节 非金属材料170

第四节 真空泵油175

第七章真空系统设计178

第一节 真空系统的基本形式178

第二节 真空系统的基本要求184

第三节 流导的计算186

第四节 真空容器的设计198

第五节 真空系统元件的参量计算及选择201

第六节 抽气时间的计算205

第七节 真空系统的安装与调试207

第八节 真空系统计算举例210

第八章真空检漏214

第一节 概述214

第二节 检漏方法215

第三节 补漏剂226

第九章真空应用设备举例227

第一节 排气设备227

第二节 电子束蒸发镀膜设备231