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前言页1

第一章 引论1

1-1 “真空”及其特点1

1-2 真空泵的分类1

1-3 真空泵的性能、用途和使用范围3

1-4 真空泵的型号及规格表示法5

第二章 水环式真空泵6

2-1 水环泵的工作原理及特点6

2-2 水环泵的基本类型与结构7

2-3 水环泵的设计计算10

3-1 往复泵的工作原理24

第三章 往复式真空泵24

3-2 往复泵的配气装置25

3-3 往复泵的结构特点28

3-4 往复泵的主要尺寸及结构参数的确定29

第四章 旋片真空泵32

4-1 概述32

4-2 旋片泵的工作原理32

4-3 旋片泵的主要参数33

4-4 旋片泵的设计计算41

4-5 旋片泵的基本结构45

4-6 气镇原理及其计算48

5-2 滑阀泵的工作原理及其结构特点53

5-1 概述53

第五章 滑阀真空泵53

5-3 滑阀泵性能参数的确定56

5-4 滑阀泵振动的产生及其控制58

5-5 机械泵油61

第六章 余摆线真空泵64

6-1 概述64

6-2 余摆线泵的工作原理64

6-3 余摆线泵的结构特点65

6-4 余摆线泵的型线分析66

6-5 余摆线泵主要几何参数的确定71

7-2 罗茨泵的工作原理及其结构特点76

7-1 概述76

第七章 罗茨真空泵76

7-3 罗茨泵转子的型线79

7-4 罗茨泵的主要性能计算92

7-5 罗茨泵的冷却94

7-6 罗茨泵防止过载的措施95

7-7 罗茨泵转子的受力分析与强度计算98

第八章 分子泵100

8-1 概述100

8-2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点101

8-3 涡轮分子泵的抽气原理与结构特点106

8-4 复合式分子泵的抽气原理与结构特点115

9-1 水蒸气喷射泵的工作原理及其结构特点118

第九章 水蒸气喷射泵118

9-2 喷射泵的特性曲线及其参数选择123

9-3 喷射泵的设计计算128

第十章 油扩散泵138

10-1 扩散泵的工作原理138

10-2 蒸气射流的基本特性144

10-3 扩散泵的性能151

10-4 扩散泵油的特性及返油153

10-5 油扩散泵的结构特点155

10-6 油扩散泵的设计计算156

11-1 油增压泵的工作原理与结构特点160

第十一章 油增压泵160

11-2 增压泵油166

11-3 油增压泵的特性167

11-4 增压泵的油蒸气迁移169

11-5 油增压泵的运转170

第十二章 分子筛吸附泵173

12-1 分子筛的结构及其抽气原理173

12-2 分子筛吸附泵的结构175

12-3 分子筛吸附泵的设计计算176

第十三章 钛升华泵183

13-1 概述183

13-2 钛升华泵的工作原理183

13-3 钛升华泵吸气面的设计和主要参数选择184

13-4 钛升华器的结构193

第十四章 轨旋式离子泵197

14-1 概述197

14-2 轨旋式离子泵的工作原理197

14-3 轨旋式离子泵的设计简介200

第十五章 溅射离子泵201

15-1 概述201

15-2 溅射离子泵的工作原理201

15-3 溅射离子泵的设计203

第十六章 低温泵214

16-1 概述214

16-2 低温泵的抽气原理和分类214

16-3 低温冷凝泵的抽速和极限压强215

16-4 低温冷凝泵的设计方法219

16-5 小型制冷机低温泵224

第十七章 锆铝吸气泵231

17-1 概述231

17-2 锆铝吸气泵的结构及其抽气原理231

17-3 锆铝吸气泵性能参数的选择235

第十八章 真空泵流量的测量方法239

18-1 压差式流量计法239

18-2 转子流量计法241

18-3 定容法243

18-4 定压法244

18-5 压差法245

参考文献246