《真空技术与设备》
作者 | 上海市机械综合研究所编 编者 |
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出版 | 上海市科学技术编译馆 |
参考页数 | 111 |
出版时间 | 1965(求助前请核对) 目录预览 |
ISBN号 | 15·343 — 求助条款 |
PDF编号 | 81632158(仅供预览,未存储实际文件) |
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1.高真空蒸气泵物理评述1
2.扩散泵的发展20
3.加挡板系统中的返流29
4.喷口设计对油扩散泵返流率影响的实验研究38
5.油扩散泵中的反扩散47
6.标准小孔在校准真空规中的运用56
7.罗茨泵(设计与特性)71
8.机械增压真空泵的最近发展82
9.超高真空连续蒸发装置的构成和真空特性88
10.高稳定性自动薄膜真空沉积系统106
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