《真空技术》求取 ⇩

1气体分子在空间的行为1

1.1 压力单位与真空区域的划分1

1.2 气体分子的基本特性2

1.3 碰撞率与余弦定律5

1.4 气体输运现象与扩散系数6

1.5 气体沿管道的流动和管道的流导10

1.6 气体的非稳定扩散和均方根位移17

1.7 气体分子间的引力和碰撞的有效截面18

2材料的真空特性21

2.1固体材料表面的吸附作用21

2.1.1 物理吸附22

2.1.2 化学吸附23

2.2吸附过程动力学27

2.2.1 吸附几率和吸附速率27

2.2.2 平均吸附时间29

2.3 表面脱附30

2.3.1热脱附30

2.3.2 表面扩散与脱附温度33

2.3.3 电子诱导脱附34

2.3.4 荷能离子的轰击脱附36

2.4平衡吸附量37

2.4.1 平衡吸附方程38

2.4.2 物理吸附等温线38

2.4.3 化学吸附等温线38

2.4.4 混合气体的吸附量40

2.5气体在固体中的溶解和渗透及扩散42

2.5.1 渗透扩散流42

2.5.2 材料的扩散放气45

2.6 材料的放气率47

2.7材料的蒸气压与蒸发率及分解压力49

2.7.1 材料的蒸气压49

2.7.2 蒸发率51

2.7.3 化合物的分解压力52

3真空获得53

3.1 概述53

3.2旋转机械真空泵55

3.2.1 旋片式机械真空泵的工作原理55

3.2.2 旋片式机械真空泵的特性和运用57

3.2.3 掺气式机械泵58

3.2.4 水环式真空泵59

3.2.5 滑阀泵61

3.2.6 罗茨泵62

3.3蒸气流扩散泵64

3.3.1 扩散泵的工作原理64

3.3.2 扩散泵的实际特性与运用67

3.3.3 蒸气流喷射泵70

3.3.4 油增压泵71

3.4涡轮分子泵71

3.4.1 涡轮分子泵的工作原理71

3.4.2 涡轮分子泵的特性74

3.4.3 涡轮分子泵的结构与运用76

3.5低温吸附泵、钛升华泵和容积吸气剂泵76

3.5.1 低温吸附泵76

3.5.2 钛升华泵81

3.5.3 容积吸气剂泵83

3.6溅射离子泵84

3.6.1 溅射离子泵的工作原理84

3.6.2 溅射离子泵的工作特性85

3.6.3 溅射离子泵的运用87

3.7低温冷凝泵88

3.7.1 低温冷凝泵的一般特性88

3.7.2 闭环低温冷凝泵90

3.8真空获得的辅助元件及泵的选择93

3.8.1 液氮冷凝阱93

3.8.2 前级吸附阱94

3.8.3 节流阀95

3.8.4 其它附件95

3.8.5 真空泵的选择96

4真空测量100

4.1绝对压力计100

4.1.1 机械式真空计100

4.1.2 薄膜电容真空计101

4.1.3 U型真空计与压缩真空计103

4.1.4 应变式真空计104

4.2相对真空计104

4.2.1 热传导真空计105

4.2.2 电离真空计108

4.2.3 冷阴极放电真空计114

4.2.4 等效氮压力概念115

4.2.5 真空计的校正116

4.3质谱计118

4.3.1 质谱计的基本参数118

4.3.2 磁质谱计120

4.3.3 四极场质谱计122

4.3.4 质谱计的应用130

4.3.5 智能型真空测量仪器141

5真空检漏与真空系统145

5.1真空检漏145

5.1.1 高压力法检漏146

5.1.2 真空计法和高频火花检漏法检漏146

5.1.3 氦质谱检漏仪及检漏技术150

5.2真空系统155

5.2.1 油扩散泵抽气系统156

5.2.2 超高真空抽气系统157

5.2.3 能抽除有毒、易爆或有腐蚀性气体的真空系统160

5.2.4 大流量抽气系统161

5.2.5 真空系统的设计概要162

6真空应用166

6.1真空镀膜的制备工艺166

6.1.1 真空蒸发镀膜166

6.1.2 真空溅射镀膜177

6.1.3 离子镀187

6.2真空干燥190

6.2.1 干燥技术的基本概念190

6.2.2 真空干燥191

6.2.3 冷冻干燥193

6.3真空浸渍195

6.3.1 真空浸渍的基本原理195

6.3.2 真空浸渍的应用196

6.4真空蒸馏197

6.4.1 蒸馏的基本概念和原理197

6.4.2 真空蒸馏199

6.5真空包装与保鲜201

6.5.1 真空包装的基本概念201

6.5.2 真空包装机的基本结构203

6.5.3 纺织品的真空包装204

6.6真空冶金204

6.6.1 真空冶金的特点205

6.6.2 真空冶金的主要设备207

6.6.3 应注意的真空技术问题209

参考习题211

附录213

附录1压力单位换算表213

附录2 质谱分析中常见的碎片图形214

附录3 常用气体的同位素丰度表219

附录4 南光机器厂生产的各种真空泵的主要特性220

参考文献221