《真空实验技术》

第一章真空的基本概念1

1 压强单位与真空区域的划分1

2 稀薄气体的基本性质4

3 输运现象10

4 蒸气17

5 真空的应用20

第二章真空的获得29

1 真空系统的构成29

2 抽气速率和气体流量31

3 气导35

4 机械泵42

5 汽流泵63

6 离子蒸发泵77

7 吸附泵和低温泵88

8 放气和渗气93

第三章真空的测量114

1 绝对真空规115

2 相对真空规121

3 真空规的校准152

第四章质谱分析与检漏171

1 离子源和接收器173

2 180°质谱计175

3 四极场质谱计177

4 飞行时间质谱计182

5 一般检漏技术183

6 补漏202

第五章真空材料与工艺215

1 真空材料的选择215

2 真空封接224

3 清洁处理230

4 除气233

第六章真空系统的设计和使用246

1 真空系统246

2 封闭式电真空器件的排气256

3 真空镀膜259

1 真空与表面科学293

第七章真空表面分析293

2 电子与表面的相互作用294

3 表面成份分析299

4 表面结构分析307

附录328

一、几种气体的性质328

二、常用元素的蒸气压331

三、各种形状管道的气导值334

四、部分国产双级旋片式转动泵的主要技术性能337

五、部分国产油扩散泵的主要技术性能338

六、安全操作注意事项339

七、真空材料的清洁处理方法341

实验索引351