《真空技术》

绪论1

第一章真空技术的物理基础9

1-1 气体分子运动论的基本原理9

1-2 麦克斯韦速度分配定律12

1-3 最可几速率，平均速率及均方根速率17

1-4 碰撞次数24

1-5 自由程长度31

1-6 自由程长度的分配规律34

1-7 与容器器壁碰撞的分子数·余弦定律38

1-8 迁移方程43

1-9 气体的热传导46

1-10 气体中的内摩擦53

1-11 气体的扩散58

1-12 滑动现象66

1-13 温度剧增现象71

1-14 低压气体的热传导76

1-15 热流逸现象78

1-16 热辐射现象81

1-17 在高压强下气体沿导管的流动82

1-18 在低压强下气体沿导管的流动89

1-19 导管的流阻与流导98

第二章真空的测量100

2-1 概述100

2-2 U形真空计102

2-3 静态变形真空计106

2-4 压缩真空计(麦氏真空计)106

2-5 热真空计119

2-6 热阴极电离真空计131

2-7 磁控放电真空计141

2-8 放射性电离真空计144

2-9 气体放电真空指示器147

2-10 其他真空计148

2-11 封闭电容器中真空度的测定152

第三章真空的获得154

3-1 概述154

3-2 真空抽气机的参量156

3-3 测量抽气速率的方法160

3-4 活塞抽气机165

3-5 油封旋转抽气机168

3-6 分子抽气机192

3-7 双转子容积分子抽气机(罗茨泵)195

3-8 蒸汽流抽气机197

3-9 固体的吸气与放气228

3-10 气体的吸附与吸收229

3-11 促进固体吸气的因素237

3-12 真空技术中所应用的材料与主要气体的相互作用238

3-13 吸气剂241

3-14 捕集器(阱)247

3-15 用加热法去气257

第四章真空系统的检漏法262

4-1 概述262

4-2 检漏法·检漏器265

第五章真空系统和真空设备281

4-3 漏气量的确定·标准漏孔281

5-1 对真空系统的基本要求284

5-2 真空系统的主要材料284

5-3 真空系统的连接方法290

5-4 真空系统的零件306

5-5 真空密封物质312

5-6 真空系统的各种形式315

5-7 真空系统的安装、调试、运用和维护328

5-8 真空系统的计算和设计333

6-1 概述374

第六章超高真空技术374

6-2 超高真空的测量376

6-3 超高真空的获得391

6-4 超高真空系统410

附录420

1国外机械旋转真空泵规范简明表420

2 喷射油汽油气机与辅助抽气机的特性421

3 国外蒸汽流泵规范简明表(苏联产品)422

4 蒸汽流泵用的几种油的性质424