《真空技术》

目 录1

第一章真空的概述1

§1.1真空和真空技术的简史1

§1.2真空度量的单位和真空区域的划分4

§1.3真空技术的应用7

第二章真空物理基础10

§2.1理想气体定律10

§2.2气体分子运动论基础知识13

§2.3基本气体传输现象19

§2.4分压强定律31

§2.5气体电离与放电现象32

§2.6固体对气体和蒸气的吸附35

§2.7气体的流动38

第三章真空获得51

§3.1真空泵的性能参量52

§3.2机械真空泵53

§3.3扩散泵84

§3.4无油真空泵102

第四章真空测量134

§4.1总压强计134

§4.2分压强测量188

第五章真空系统221

§5.1真空系统的材料222

§6.2真空阀门236

§5.3真空阱246

§54真空系统的组装技术247

§5.5实用真空系统261

第六章真空检漏276

§6.1真空检漏的重要性276

§6.2常用的检漏方法287

§6.3氦质谱检漏仪311

§6.4标准漏孔329

附录336