《真空技术及设备》求取 ⇩

目录1

绪言1

第一章　真空技术的物理基础4

§1-1　气体分子运动论概要4

§1-2　低压下气体沿导管的流动及流导计算10

§1-3　气体分子与固体表面的相互作用20

§1-4　抽气过程的理论基础24

第二章　真空获得设备27

§2-1　概述27

§2-2　油封机械真空泵29

§2-3　油扩散泵41

§2-4　涡轮分子泵52

§2-5　分子筛吸附泵58

§2-6　热钛泵63

§2-7　溅射离子泵68

§2-8　低温泵73

第三章　真空测量81

§3-1　概述81

§3-2　压缩式真空计83

§3-3　热偶真空计85

§3-4　普通热阴极电离真空计87

§3-5　中量程真空计92

§3-6　超高真空电离计93

§3-7　冷阴极磁控电离计96

§3-8　分压强测量98

第四章　真空系统的组成102

§4-1　真空阀门102

§4-2　捕集器（阱）112

§4-3　真空密封与连接119

第五章　真空系统的设计与计算144

§5-1　真空系统的基本要求及其形式144

§5-2　真空系统的设计与计算151

§5-3　真空中常用材料及选择157

§5-4　真空系统的安装与调试163

第六章　真空检漏166

§6-1　真空检漏方法167

§6-2　氦质谱检漏168

第七章　典型真空应用设备174

§7-1　圆排设备174

§7-2　离子镀膜设备180

复习题186

附录　致冷机致冷原理简述187

参考资料191