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目录1

第一章 真空技术物理基础引论1

§1-1 真空的基本概念1

§1-2 真空度量单位及区域划分2

§1-3 各真空区域的物理特性及应用3

§1-4 真空技术物理的范畴及其研究方法6

第二章 气体在平衡状态下的物理特性7

§2-1 理想气体定律7

§2-2 气体分子的速率分布与速度分布13

§2-3 玻尔兹曼分布律,重力场中微粒按高度分布17

§2-4 气体分子之间的平均碰撞次数18

§2-5 自由程及其分布几率20

§2-6 碰撞频度23

§2-7 分子从表面的反射——余弦定律24

§2-8 蒸发和凝结25

第三章 气体内的迁移现象33

§3-1 迁移方程33

§3-2 气体的热传导34

§3-3 气体的内摩擦36

§3-4 气体的扩散38

第四章 真空中气体的迁移过程45

§4-1 滑动现象——分子和器壁间的动量迁移45

§4-2 温度骤增现象——分子和器壁间的能量交换50

§4-3 真空中温度不同的两表面间的热量传递53

§4-4 热流逸现象59

§4-5 分子辐射力现象61

第五章 真空中气体的流动64

§5-1 流动状态及其判别64

§5-2 流动过程的基本物理量及其相互关系的电气模拟65

§5-3 粘滞流态的流量——泊谡叶公式66

§5-4 分子流态的流量——克努曾公式68

第六章 固-气界面现象70

§6-1 概述70

§6-2 吸附现象及固体表面70

§6-3 吸附机理72

§6-4 物理吸附与化学吸附76

§6-5 吸附态78

§6-6 吸附参量79

§6-7 吸附动力学83

§6-8 朗谬尔吸附等温线87

§6-9 多分子层吸附等温线89

第七章 气体在固体内部的迁移91

§7-1 基本概念91

§7-2 气体在固体中的溶解92

§7-3 气体在固体中的扩散与渗透94

§7-4 解吸-出气98

第八章 荷能粒子与表面99

§8-1 概述99

§8-2 荷能电子与表面99

§8-3 荷能原子、离子与表面100

第九章 带电粒子在电磁场中的运动106

§9-1 电磁场对带电粒子的加速作用106

§9-2 电磁偏转107

§9-3 磁聚焦-带电粒子在均匀磁场中的运动112

§9-4 带电粒子在恒定电场中的运动114

§9-5 带电粒子在正交均匀电场和磁场中的运动119

§9-6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动124

§9-7 带电粒子在交变电场中的运动125

§9-8 带电粒子在交变磁场中的运动127

§9-9 带电粒子在交变电磁场中的运动130

第十章 电子发射134

§10-1 引言134

§10-2 热电子发射135

§10-3 光电子发射141

§10-4 场致发射145

§10-5 二次电子发射148

第十一章 气体放电的基础知识154

§11-1 气体原子的激发和电离154

§11-2 弹性碰撞155

§11-3 非弹性碰撞157

§11-4 带电粒子在气体中的漂移运动162

§11-5 带电粒子在气体中的扩散166

第十二章 汤生放电168

§12-1 气体放电的基本特点168

§12-2 气体放电的实验,被激导电和自激导电170

§12-3 自激导电的规律,电子繁流理论和自持放电172

§12-4 破裂电压和巴邢定律,着火的迟滞时间175

§12-5 破裂(着火)后的放电形式179

§13-1 辉光放电181

第十三章 辉光放电、弧光放电和其它类型放电181

§13-2 弧光放电189

§13-3 其它类型放电193

第十四章 空心阴极放电199

§14-1 空心阴极效应199

§14-2 空心阴极的放电现象和特性201

§14-3 空心阴极放电向电弧放电的转化204

§14-4 蒸发机理205

§14-5 空心阴极放电的阴极温度209

§14-6 载气的选择211

第十五章 真空中电击穿214

§15-1 概述214

§15-2 金属阴极的侵蚀215

§15-3 击穿过程及其机理218

第十六章 电子光学基础225

§16-1 电子光学和几何光学的相似性225

§16-2 电子在轴对称电场中的运动228

§16-3 电透镜232

§16-4 电子在轴对称磁场中的运动239

§16-5 磁透镜243

第十七章 空心阴极放电电子枪的物理基础247

§17-1 等离子体的基本性质247

§17-2 单粒子运动轨道252

§17-3 空心阴极放电电子枪的物理参量257

§17-4 HCD枪平行场偏转极的数理分析264

§17-5 等离子源的束流偏转269

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