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绪论1

第一章真空技术的物理基础(一)——气体分子运动8

1—1 气体分子运动论的基本原理8

1—2 气体的压强15

1—3 气体分子的速率分布——麦克斯韦速率分布律16

1—4 平均自由程与碰撞截面19

1—5 自由程长度分布律25

1—6 电子碰撞气体引起的电离26

1—7 单位时间碰壁数(碰撞频度)28

1—8 分子从表面的反射——余弦定律(克努曾定律)30

1—9 气体中的输运现象32

1—10 低压气体中的输运现象42

1—11 热流逸现象47

1—12 分子辐射计力50

1—13 气体在管道中的流动51

1—14 气体通过小孔的流动56

1—15 流导与流阻、传输几率57

第二章真空技术的物理基础(二)——固-气界面现象66

2—1 固体表面对气体分子的作用力66

2—2 物理吸附与化学吸附68

2—3 吸附速率73

2—4 脱附速率74

2—5 吸附等温线76

2—6 朗谬尔吸附等温线79

2—7 多分子层吸附等温线(BET等温线)81

2—8 混合气体的吸附——冷捕集与置换82

2—9 表面迁移85

2—10 管道有吸附作用时的非稳定气体流87

2—11 气体在固体中的溶解、渗透与扩散89

2—12 电子碰撞脱附93

2—13 离子轰击固—气界面97

第三章真空获得105

3—1 概述105

3—2 旋转机械真空泵107

3—3 蒸汽流扩散泵110

3—4 低温吸附泵117

3—5 钛升华泵119

3—6 热阴极吸气离子泵122

3—7 溅射离子泵124

3—8 涡轮分子泵129

3—9 低温泵133

3—10 超高真空获得技术137

第四章真空的测量147

4—1 概述147

4—2 U形真空计和压缩真空计149

4—3 热传导真空计154

4—4 热阴极电离真空计161

4—5 超高真空热阴极电离真空计173

4—6 自持放电型真空计181

4—7 分压强真空计185

4—8 其他真空计195

4—9 相对真空计的校准197

4—10 真空测量技术199

第五章真空检漏205

5—1 概述205

5—2 检漏基本原理208

5—3 压力检漏法212

5—4 真空检漏法213

5—5 其他检漏方法220

5—6 标准漏孔、漏气量的测定221

第六章真空系统226

6—1 概述226

6—2 真空系统的材料226

6—3 真空系统的零件232

6—4 真空系统的组装技术235

6—5 典型真空系统举例240

6—6 真空系统的计算243

参考资料269