《半导体材料 锗硅部分》

第一章锗和硅的化学制备1

§1.锗的资源2

§2.锗的富集和制取3

§3.硅的资源和制取8

§4.硅的化学提纯9

第二章锗、硅的区域提纯20

§5.分凝现象21

§6.正常凝固27

§7.区域提纯原理35

§8.锗的区域提纯44

§9.硅的区域提纯58

第三章锗、硅单晶制备69

§10.单晶的生长70

§11.锗单晶的制备75

§12.硅单晶的制备92

§13.影响单晶生长的因素97

§14.单晶生长中杂质的分布与控制102

§15.单晶中的缺陷126

第四章材料的测试135

§16.用热探针测量半导体的导电类型137

§17.电阻率的测量139

§18.霍尔系数的测量148

§19.寿命的测量153

§20.用劳埃相的方法确定晶向169

§21.位错的观察178

附录181

参考文献186

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