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第一篇半导体芯片材料1

第一章 半导体材料基本知识1

第二章 半导体晶体结构19

第三章 常用半导体芯片材料40

第四章 硅单晶材料56

第五章 硅外延片材料86

第六章 锗材料110

第七章 砷化镓材料124

第八章 半导体温差电至冷材料169

第二篇半导体器件结构材料169

第一章 结构材料基本知识169

第二章 壳体材料193

第三章 芯片装配材料220

第四章 涂?材料237

第五章 标记与包装材料243

第六章 结构材料在封装中的应用245

第三篇半导体材料的检测与分析255

第一章 概述255

第二章 半导体晶向测定257

第三章 红外光谱及其应用264

第四章 半导体材料的电学测量291

第五章 半导体晶体缺陷分析332

第六章 表面分析339

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