《半导体材料》
作者 | 刘凤伟编 编者 |
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出版 | 北京:冶金工业出版社 |
参考页数 | 141 |
出版时间 | 1981(求助前请核对) 目录预览 |
ISBN号 | 15062·3697 — 求助条款 |
PDF编号 | 81826288(仅供预览,未存储实际文件) |
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第一章 半导体材料综述1
一、半导体材料在科学技术现代化中的地位1
目录1
二、半导体材料的种类和特点2
三、半导体材料的主要用途3
四、半导体材料的性能及其与器件的关系7
五、半导体器件对材料的要求及材料的选用原则10
六、化合物半导体砷化镓的特性11
七、半导体材料的发展概况12
八、半导体材料的生产现状、水平和发展趋向14
一、超纯多晶硅的制备22
第二章 半导体材料硅的生产22
二、直拉法制备单晶硅46
三、区熔法制备单晶硅65
四、硅片的加工77
五、硅外延生长86
六、硅材料的检验和分析95
第三章 化合物半导体材料砷化镓的制备110
一、砷化镓材料的制备方法、特点和要求110
二、砷化镓体单晶的制备111
三、砷化镓外延生长125
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