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第一章 半导体材料综述1

一、半导体材料在科学技术现代化中的地位1

目录1

二、半导体材料的种类和特点2

三、半导体材料的主要用途3

四、半导体材料的性能及其与器件的关系7

五、半导体器件对材料的要求及材料的选用原则10

六、化合物半导体砷化镓的特性11

七、半导体材料的发展概况12

八、半导体材料的生产现状、水平和发展趋向14

一、超纯多晶硅的制备22

第二章 半导体材料硅的生产22

二、直拉法制备单晶硅46

三、区熔法制备单晶硅65

四、硅片的加工77

五、硅外延生长86

六、硅材料的检验和分析95

第三章 化合物半导体材料砷化镓的制备110

一、砷化镓材料的制备方法、特点和要求110

二、砷化镓体单晶的制备111

三、砷化镓外延生长125

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